( S316) 原子分解能の表面顕微鏡における検出下限と定量精度

摘要

我々の研究室では，ポータブル全反射蛍光X 線分析装置を開発し原子重量でピコグラムの検出下限を達成した．この装置の発表を「ナノ研究者」が多く参加する国際シンポジウムで発表したところ，STMなら1 原子でも観察できるので，ピコグラム(109～1010 原子)も必要な分析法は不要である，というコメントをもらった．しかしSTM などの分析法では，1019/cm3 のドープ原子(表面原子1000 個中1 個のドープ原子)濃度でも観察できないがその理由は，表面にドープ原子が存在しないからなのか，ほかの理由からなのか明確ではなかった．そこで我々はモンテカルロシミュレーションによって，サンプリング原子数と分析精度の関係を調べた．