洗浄用薬剤フッ硝酸のカスケード利用技術とそのLCA評価

摘要

半導体産業でのウエハー等洗浄後め副生酸（フッ酸、硝酸）をステンレス鋼板の酸洗にカスケード利用すべく実験を行った結果、ウエハー等洗浄時の混入するSi濃度を管理することにより、酸洗液として利用できることが実証された。 また、LCA評価によりエネルギー消費量、CO2排出量の削減にも大きく寄与できることがわかった。