最新の微細加工技術

摘要

油加工液のワイヤ放電加工機が一般に認知されて久しいが、電子部品·歯車·化繊ノズルなどの金型では、Φ0.1mm以下のワイヤ電極の使用頻度が高い。これらの分野での加工精度は年々高まっており、改めて超精密ワイヤ放電加工機「UPN-01」（図1）の技術を見直す必要があると考えた。本稿では当社の取組みとともに、ワイヤ径Φ50μmおよび30μmの加工事例を紹介する。