撮像式工具測定システムを用いた高精度機上測定事例

摘要

IT、光学、医療機器、半導体デバイスなどの機器の高性能化や小型化に伴い、これらの部品や金型の加工の高精度化、微細化の要求が高まってきている。加工機に対しては、高速·高精度や安定性·再現性の高さといった機械の基本性能のみならず、機上測定などの周辺アプリケーショーンの高度化の要求も大きくなってきている。当社はこれらの要求に応えるため、独自に「撮像式工具測定システム」を開発し、小型精密加工機「μV1」に搭載し、機上測定の高度化に取り組hでいる。本稿では、それらの特徴と事例について紹介する。