溶融微細転写システムの生産性向上の取組み

摘要

ディスプレイ、光学素子、医療バイオなどの分野では、製品表面に微細な凹凸を形成することにより、新たな機能の発現や高性能化が図られている。ディスプレイ部材や光学素子では、モスアイ構造、3次元液晶、高輝度LED、ホログラム素子、医療バイオの分野では、細胞培養、薬物搬送、各種検査用チップの実用化が進められている。これらの製品には、高精度の微細転写性能、高生産性および低コストが要求される。当社は、リソグラフィ技術や機械加工などにより作製したスタンパー（モールド）の微細凹凸形状を高品位かつ低コストで複製する技術として、溶融微細転写システムを開発した。