ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ SnO_2, ПОЛУЧЕННЫХ ИЗ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ

摘要

Исследованы газочувствителъпые свойства тонкопленочных материалов SnO_2 с добавками сурьмы (III), полученных из пленкообразующих растворов на основе комплексных соединений Sn(II), Sb(III) с ацетилацетоном, по отношению к газам-восстановителям СО, СН_4, Н_2. Защита окружающей среды является одной из глобальных проблем. В первую очередь эго касается загрязнения атмосферы, которое определяется уровнями выбросов оксидов углерода, серы, азота, тяжелых металлов, радионуклидов и канцерогенных полиароматических углеводородов. Широкое применение для определенияэтих горючих и токсичных газов в атмосфере воздуха в качестве газочувствительного элемента получили тонкопленочные материалы на основеSnO_2, обладающего полупроводниковыми свойствами. Как известно, их получают в основном напылением, но эти покрытия не лишены недо-стагков. Поэтому целесообразно вести исследования в направлении совершенствования чувствительности SnO_2 к газам, которая зависит от структуры и состава пленки. В связи с этим необходимо проводить поиск новых методов синтеза и пленкообразующих систем, позволяющих получать пленки с заданной структурой и составом.