Чувствительность МДП-сенсоров к водороду, сероводороду и диоксиду азота в различных газовых средах

摘要

Измерена чувствительность сенсоров металл - диэлектрик - полупроводник (МДП) типа Pd-Ta{sub}2O{sub}5-SiO{sub}2-Si к водороду, сероводороду и двуокиси азота в атмосферах воздуха, азота и кислорода. Показано, что МДП-сенсоры работоспособны в любой химически не агрессивной газовой среде, а также в вакууме.