'FraunhoferFEPの反応性パルススパッタリング最新技術トピックス'（下）

摘要

前述の基板対向式DRM400カソードの有効基板 サイズは約200mm径であるが、しばしばより大 きな基板への成膜のニーズがあったことから FEPでは最近ダブルリングからトリプルリング のカソードとすることで、その有効範囲を 500mm径まで広げることを試みた。それがTRMカソードである。その放電の様子を図1に示す。