水晶の波長変換素子を開発、真空紫外光発生に成功

摘要

物質·材料研究機構（NIMS）は、あらゆる波長のレーザー光を取り出せる水晶の波長変換素子を開発し、波長193nmの真空紫外光を発生させることに成功した。半導体微細加工や眼科治療用のレーザーなどに応用できる。真空紫外光の発生は世界で初めてという。従来の大型光源を約10分の1に小型化できるため、光源の装置への組込み用途が開ける。