特集：材料技術トレンドを読む工業材料キーワード50－タイヤモンドライクカナボン

摘要

ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)膜とは，硬さなどがダイヤモンドに近い物性をもつアモルファスなカーボン膜のことである．その構造は，図1に示すようなものと考えられる．すなわち，広範囲にわたっては定まった構造をもたないが，狭い範囲内ではダイヤモンド構造に対応するSP{sup}3結合，あるいはグラファイト構造に対応するSP{sup}2結合をしているものと考えられる．多くの場合，カーボンの他に水素が含まれている．このDLC膜は，1970年代初めにAisenbergらによりイオンビーム蒸着法を用いて作製されて以来，多くの研究者·技術者により研究開発が行われてきた．その結果，DLC膜は，高硬度の他，優れたトライボロジー特性（低摩擦性，耐摩耗性），耐食性などの特性を有することが明らかとなり，現在，トライボロジー分野や光学分野などの各種の分野において注目されている．