強誘電体インテリジェント材料の作製技術

摘要

次世代の半導体メモリーとして注目される強誘電体メモリーをPLZTめスパッタリングによって作製するために，高密度·高純度の大型ターゲット材料の成形·表面加工，並びにスパツタリングで成膜された薄膜を配向性に優れた結晶体にする技術を開発した。