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机译:3D / 2.5D集成中堆叠误差的电气测量新方法
Natl Chiao Tung Univ Dept Elect Engn Hsinchu 300 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Dept Elect Engn Hsinchu 300 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Dept Elect Engn Hsinchu 300 Taiwan;
Three-Dimensional (3D) Integration; TSV; Electrical Measurement; Misalignment;
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