特集 測定·分析技術と開発分析電子顕微鏡用の小型希釈冷凍機

摘要

先端材料開発の分野では，微量に添加した元素がどこにどのように存在するかを調べるため，ナノ領域を約10eVのエネルギー分解能で特性X線分光分析ができる分析電子顕微鏡が求められている。しかし，既存の半導体型検出器ではエネルギー分解能が約100eVでありその要求に応えられなくなっている。