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机译:铝二氢铝复合物及其意外应用在碳氮化钛膜原子层沉积中
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机译:基质增强和抑制生长对铝钛氧化物膜原子层沉积和性能的影响
机译:通过原子层沉积生长的铝掺杂氧化锌膜,用于透明电极应用
机译:新型金属有机前驱体的钨碳化物薄膜的原子层沉积
机译:挥发性和热稳定铝氢化物复合物的合成及其在金属薄膜原子层沉积中的应用
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
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