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Temperature-Dependent Spectroscopic Ellipsometry of Thin Polymer Films

机译:薄聚合物薄膜的温度依赖性光谱椭圆形测定法

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摘要

Thin polymer films have found many important applications in organic electronics, such as active layers, protective layers, or antistatic layers. Among the various experimental methods suitable for studying the thermo-optical properties of thin polymer films, temperature-dependent spectroscopic ellipsometry plays a special role as a nondestructive and very sensitive optical technique. In this Review Article, issues related to the physical origin of the dependence of ellipsometric angles on temperature are surveyed. In addition, the Review Article discusses the use of temperature-dependent spectroscopic ellipsometry for studying phase transitions in thin polymer films. The benefits of studying thermal transitions using different cooling/heating speeds are also discussed. Furthermore, it is shown how the analysis and modeling of raw ellipsometric data can be used to determine the thermal properties of thin polymer films.
机译:薄的聚合物膜在有机电子器件中发现了许多重要的应用,例如有源层,保护层或抗静电层。 在适于研究薄聚合物膜的热光学性质的各种实验方法中,温度依赖性光谱椭圆形测定法起到非破坏性和非常灵敏的光学技术的特殊作用。 在本综述文章中,调查了与椭圆测量角度的物理来源相关的问题进行了调查温度。 此外,审查制品讨论了使用温度依赖性光谱椭圆形测量测定法研究薄聚合物膜中的相变。 还讨论了使用不同冷却/加热速度研究热转换的益处。 此外,示出了如何使用原始椭圆数据的分析和建模来确定薄聚合物膜的热性质。

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