机译:高性能压电MEMS振动能量收割机的示范使用BIFEO3薄膜具有改进的机电耦合因子
Osaka Prefecture Univ Grad Sch Engn Sakai Osaka 5998531 Japan;
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Osaka Res Inst Ind Sci &
Technol Izumi Ku Osaka 5941157 Japan;
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Osaka Prefecture Univ Grad Sch Engn Sakai Osaka 5998531 Japan;
Lead-free piezoelectric film; Vibration energy harvester; Rayleigh constant; Domain wall; rf magnetron sputtering;
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机译:基于微机电系统的振动能量收割机,脉冲直流磁控溅射沉积氮化铝压电薄膜
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机译:使用(100)取向的BIFEO3薄膜的高效压电MEMS振动能量收集器
机译:MEMS压电振动能量收割机和电路用于IOT应用=互联网对象的振动能量回收和电路的压电MEMS
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