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机译:通过真空紫外线照射在抽空环境中的低损伤氧化烷基的还原式图案化
Kyoto Univ Dept Mat Sci &
Engn Sakyo Ku Kyoto 6068501 Japan;
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机译:通过真空紫外线照射在抽空环境中的低损伤氧化烷基的还原式图案化
机译:使用真空紫外光对烷基和氟烷基硅烷自组装单层进行微图案化
机译:真空紫外光对烷基和氟代烷基硅烷自组装单分子膜的微图案化
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