机译:将双重图案化与自组装块共聚物薄片合并为制造10.5nm全俯仰线/空间图案
Univ Chicago Pritzker Sch Mol Engn 5801 South Ellis Ave Chicago IL 60637 USA;
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Fudan Univ Sch Informat Sci &
Technol Shanghai 200433 Peoples R China;
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directed self-assembly; block copolymer; self-aligned double patterning; sequential infiltration synthesis; bit-patterned media;
机译:将双重图案化与自组装块共聚物薄片合并为制造10.5nm全俯仰线/空间图案
机译:聚(2-乙烯基萘)-嵌段-聚(丙烯酸)嵌段共聚物:自组装图形的形成,排列和通过等离子蚀刻转移到硅中
机译:溶剂蒸发和聚合物流动对嵌段共聚物自组装和形貌取向的综合影响研究
机译:自对准,自组装有机硅酸盐线图案〜20nm的半场间距从嵌段共聚物介导的自组装
机译:结合全息图构图和嵌段共聚物自组装来制造分层体积光栅
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:自组装块共聚物结构域取向的空间控制和光学晶体表面上的对准