昭和電工、パワー半導体用SiCエビウェハーで6インチ品上市

摘要

昭和電工は、パワー半導体材料の炭化ケイ素（SiC）ェピタキシヤルウェハーで、世界最大となる直径6インチ（150mm）品の量産化技術を確立した。また、4インチ（100mm）品でも低欠陥化を進め均一性を向上させた新グレード製品を開発した。両製品とも10月から販売を開始する。さらに、秩父事業所（埼玉県秩父市）でSiCエピウェハー生産能力を4インチ品換算で2014年前半に月産1，000枚増の2，500枚に引き上げる方針。