低角度出射反射電子像を用いた鋼中ナノ析出物の解析Nano-scale size precipitates analysis with low takeoff angle backscattered electron

摘要

鉄鋼材料中に存在するナノサイズの析出物や介在物は，粒成長の起点や転位や粒界のピンニングポイントとして作 用するため，材料の機械的性質をコントロールする上で，その形態や析出領域，大きさ，組成などを把握することは 重要である。これまでナノサイズ粒子の解析には一般的に透過電子顕微鏡（TEM）が用いられてきた。一方，広視野 の観察が容易な走査型電子顕微鏡（SEM）は，これまで，比較的低倍率の観察に用いられ，ナノサイズ粒子の観察 には不適であると考えられてきたが，最近では電界放射型の電子銃を搭載した装置や極低加速電圧で観察可能な 装置が広く用いられるようになり，１０万倍以上の高倍率での観察も容易に可能となってきた。本講演では，小さな出 射角度で観察試料から放出された反射電子を用いて像観察する手法に着目し，ナノサイズの析出物や介在物の解 析への適用可能性を検討した結果を報告する。２．