机译:氩气溅射和氧等离子体调节氧化锌薄膜的功函数:实验和计算研究
机译:氩气溅射和氧等离子体调节氧化锌薄膜的功函数:实验和计算研究
机译:氧气和氩气流量对磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响
机译:通过改变氧气流量来调节直流磁控溅射铝氧化锌薄膜的光学,电阻率和结构特性
机译:氧/氩流量比对反应磁控溅射等离子体中TiO
机译:降低了在活性氧/氢等离子体中溅射的二氧化钒薄膜的工艺温度。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:用四乙氧基硅烷/氧气/氩/氦气氧化硅等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺的计算研究