青色LED用GaN膜粗面化処理用エッチング液開発

摘要

林純薬工業は青色LEDプロセスにおけるGaN膜（N面）の表面をエッチングし，粗面化（凹凸化）することができる高性能エッチング液の取り扱いを始めた。6月よりサンプル出荷を開始した。同社はこれまで黄緑～赤色LEDで使用される各種半導体膜の粗面化エッチング液を開発してきた。青色LEDは長寿命，省電力の点からLED照明や携帯電話，車載用途などで使用され，市場が拡大している。