机译:分流电弧放电触发混合RF(195kHz)等离子体制备的非晶碳膜的特性
Carbon; Hybrid plasma; Methane; Plasma-based ion implantation; Shunting arc;
机译:分流电弧放电触发混合RF(195kHz)等离子体制备的非晶碳膜的特性
机译:同轴电弧等离子体沉积制备的氮掺杂超纳米晶金刚石/氢化非晶碳复合薄膜的电学特性
机译:分流电弧放电制备混合膜沉积含钛碳等离子体
机译:通过碳分流电弧放电触发的杂交RF(192kHz)等离子体制备的无定形碳膜特性
机译:激光等离子体放电源制备的纳米相金刚石膜的力学和光学特性
机译:掺b非晶碳基薄膜:通过低温RF-PEMOCVD制备的光子材料
机译:生产含氮碳等离子体,用于氮化物膜制备的分流电弧放电
机译:阴极电弧沉积制备非晶态硬碳薄膜的力学性能