机译:氟化水溶液中的Si(100)蚀刻:平行蚀刻反应会导致pH依赖的Nanohillock形成或原子平面
机译:氟化水溶液中的Si(100)蚀刻:平行蚀刻反应会导致pH依赖的Nanohillock形成或原子平面
机译:水蚀产生接近原子平坦度的Si(100)表面:应变最小化不能预测表面形态
机译:水蚀产生接近原子平坦度的Si(100)表面:应变最小化不能预测表面形态
机译:通过三甲基铝和氟化氢(PPT)的顺序反应,通过“转化蚀刻”机理的热原子层蚀刻。
机译:扫描隧道显微镜和密度泛函理论研究卤素在硅(100)表面的动力学和蚀刻反应。
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
机译:用于具有部分氟化的si(100)表面的F2反应的从头算起源的动力学:作为可能的蚀刻工具的平移活化