机译:通过远程等离子体原子层沉积在(100)硅上生长的均匀GaN薄膜
atomic layer deposition; gallium nitride; thin films; grazing incidence x-ray diffraction; crystal structure;
机译:通过远程等离子体原子层沉积在(100)硅上生长的均匀GaN薄膜
机译:远程等离子原子层沉积生长的氧化钛薄膜的沉积温度依赖性
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:通过远程等离子体原子层沉积法在等离子体氧化Si衬底上产生的HFO {亚} 2薄膜的特征
机译:在硅和石墨烯基底上通过原子层沉积生长的无机膜的纳米图案化和表征。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:衬底温度对中空阴极等离子体辅助原子层沉积生长GaN薄膜性能的影响
机译:等离子体增强原子层沉积ag薄膜的类似等离子体行为。