...
机译:使用铬作为硬掩模在玻璃晶片上高纵横比纳米加工光子晶体结构
nano-fabrication; photonic crystal; high aspect ratio nanostructure; sensor; chromium hard mask; glass wafer nano-fabrication;
机译:使用铬作为硬掩模在玻璃晶片上高纵横比纳米加工光子晶体结构
机译:将自组装的三维光子晶体集成到结构化的硅晶片上
机译:层流在湿法化学蚀刻中用作“液体蚀刻掩模”,以生成具有改善的长宽比的玻璃微结构
机译:单掩模,翻转型钛玻璃(FPTOG)技术,用于悬浮的高纵横比批量钛微观结构的悬浮型批量批量制造
机译:硬球胶体晶体和玻璃的结构和缺陷。
机译:通过使用自掩膜蚀刻技术在晶圆表面形成纳米级金字塔提高多晶硅晶圆太阳能电池效率
机译:单面,倒装结合的玻璃上钛(FBTOG)技术用于悬吊高纵横比大块钛微结构的晶圆级批量制造。