机译:同轴六十面镜中央遮蔽极紫外光刻物镜的初始结构设计
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机译:具有直接倾斜过程的离轴极紫外光刻物镜系统的设计方法
机译:极紫外光刻物镜设计中的网络搜索方法
机译:设计用于11 nm节点的极紫外光刻物镜
机译:极端紫外线光刻中的电子作用反映了污染和闪络。
机译:通过非光刻各向异性蚀刻制造的纳米结构玻璃的极高润湿性
机译:具有极端紫外线光刻目标的真实光线追踪模型的分组设计方法
机译:极紫外光刻掩模上基板和吸收体缺陷的可印刷性