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Nanometer displacement measurement using Fresnel diffraction

机译:使用菲涅耳衍射的纳米位移测量

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摘要

We introduce a relatively simple and efficient optical technique to measure nanoscale displacement based on visibility variations of the Fresnel diffraction fringes from a two-dimensional phase step. In this paper we use our technique to measure electromechanical expansions by a thin piezoelectric ceramic and also thermal changes in the diameter of a tungsten wire. Early results provide convincing evidence that sensitivity up to a few nanometers can be achieved, and our technique has the potential to be used as a nanodisplacement probe.
机译:我们介绍了一种相对简单而有效的光学技术,它基于二维相位步长的菲涅耳衍射条纹的可见度变化来测量纳米级位移。在本文中,我们使用我们的技术来测量由薄压电陶瓷制成的机电膨胀以及钨丝直径的热变化。早期结果提供了令人信服的证据,表明可以实现高达几纳米的灵敏度,并且我们的技术有潜力用作纳米位移探针。

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