Исследование электрофизических параметров тонких пленок и пленочных покрытий методом диэлектрического СВЧ резонатора

摘要

Представлены результаты измерений тонких диэлектрических пленок, частично металлизированных с одной стороны и изготовленных по технологии так называемых перколяционных систем. Подобные системы обладают повышенными значениями наведенной эффективной диэлектрической проницаемости и технологически управляемым тангенсом угла потерь tgδ. Описана конструкция измерительной установки в виде волноводной осесимметричной резонансной системы на основе диэлектрического резонатора, позволяющая измерять электрофизические параметры пленок с повышенной точностью.