Построены многомерные структурно-параметрическая модель и параметрическая структурная схема составного пьезодвигателя при управлении по напряжению для пьезопривода наноперемещений. Определено влияние геометрических и физических параметров составного пьезодвигателя и внешней нагрузки на его статические и динамические характеристики, получены передаточные функции составного пьезодвигателя для пьезопривода наноперемещений.
展开▼