レーザー加工用高出力光伝送ファイバの開発

摘要

薄膜型太陽電池の製造工程では、レーザスクライブ加工が幅広く用いられている。この加工プロセスでは、矩形形状のフラットトップビームを用いることで、高品質かつ効率的な加工が可能となる。矩形コアファイバは、容易に矩形フラットトップビームを形成できるとともに、フレキシブルな加工システムを実現できる特徴を持つ。今回、開発した矩形コアファイバを使用することで均一な強度分布を持つ矩形フラットトップビームの形成が可能であることを示すとともに、そのビームプロファイルに影響を及ぼす要因について調査した結果を報告する。