100 Gb/s小型コヒーレントレシーバ向けInP系90°ハイブリッド集積型pin-PDの高感度·広帯域動作

摘要

1波長あたり100 Gb／s以上の大容量伝送を実現する方式として，デジタルコヒーレント伝送技術が有望視されている．また，位相信号を復調する90°ハイブリッドを集積した受光素子としては小型化，さらには，これらの実装プロセスの簡素化に伴う低コスト化，及び特性安定化の観点で，InP系モノリシック集積素子が有利である．我々はバットジョイントプロセスによりMMIからなる90°ハイブリッドをモノリシック集積したInP系pin-PDの高受光感度，及び広帯域動作を実現するとともに，本素子を用いた小型コヒーレントレシーバモジュールを試作したので，報告する．