ウェーハ出荷容器からの金属汚染評価－シリコン·ウェーハの金属汚染に及ぼす出荷容器の影響

摘要

ウェーハ出荷容器自体の金属汚染は容器洗浄で除去されないが、例え未洗浄の出荷容器を使用してもウェーハ表面への汚染の転移は検出限界以下の量である。一方、ウェーハ端面への汚染転移は局所的·高濃度であり、汚染量を低減する設計·材料の工夫が必要である。