燃焼式排ガス処理装置：“燃焼技術”をベースとしたPFC排ガス処理装置F型ガーディアンの紹介

摘要

PFCは、GWP (Global Warming Potential)値が極めて高いことから、1998年の地球温暖化防止京都会議で削減対象となった物質である。 日本ではJEITAを中心に業界の自主行動という形で目標を定め、半導体製造では「1995年を基準として、2010年までにGWP換算で総排出量を10％以上削減」、また、液晶製造では「2010年までに総排出量をGWP換算で2000年排出量以下」としてPFC排出削減対策を進めつつある。 排ガス処理は、数あるPFC排出削減対策の内の一つではあるが、技術的に最も現実的な対策方法であり、特に「燃焼式」の排ガス処理は、他の処理方式（「触媒式」「熱分解式」「プラズマ式」）に比べて「PFC分解率の高さ」·「処理量の大きさ」·「燃費の省エネ性」·「デポガスとの同時処理」等で利点があると考えられる。 以下に弊社と東京ガス、小池酸素工業の三社が開発·製品化した燃焼式排ガス処理装置「F型ガーディアン」について紹介する。