簡易型クリーンブース「フワクリーン」－究極のパートタイムクリーン化技術

摘要

近年、半導体製造用のクリーンルームでは、いわゆるボールルーム型クリーンルームとミニエンバイロメント（以降、ミニエン）を併用した方式が主流になっている。国際半導体技術ロードマップ（ITRS：図1参照）によると、ウエハ環境はさらなる高清浄化が求められる一方で、クリーンルームの清浄度は積極的に緩和することが求められている。 高度で高価な汚染防止対策をミニエン内部に絞って行うことで、製品の微細化に対応しつつ、建設コストの抑制、建設工期の短縮、省エネルギーおよびクリーンルーム要員のアメニティー向上を図ることが狙いである。一方、メンテナンス環境は、メンテナンス時に高清浄のミニエン内部が低清浄のクリーンルーム空気で汚染される恐れがあるため、クリーンルームより高清浄であることが求められている。メンテナンス時の汚染を抑制し、メンテナンス後の装置の早期立上げ、生産性の向上などを図ることが目的である。そこで、そのニーズに応えるため、必要な時だけ必要な場所へ運んで使うため、移動·組立ての容易さを最重要視したクリーンブースを開発した。 本報では、その簡易型クリーンブース「フワクリーン（商標出願中）」について紹介する。