Device Net対応マスフローコントローラ

摘要

半導体プロセスも300mm時代に入り生産性の向上を目的とした高密度化、微細化及び生産設備の低コスト化が要求されている。マスフローコントローラをはじめとしたガス制御機器においても省配線·省スペース化、グローバルでオープンを仕様、低コストで高速通信が可能なDevice Netの採用が増えている。 本項ではこれらの要求に対応したDevice Net マスフローコントローラ（以下MFC）SEC-Z10シリーズについて紹介する。