精密温調用省エネルギーシステムASES：次世代微細加工環境と省エネルギーの両立を実現

摘要

多くの半導体や液晶パネルの製造プロセスはそのプロセス全体をクリーンルーム内に設置して、清浄度、温湿度管理を行った空間で生産する方式を採っているのが一般的である。このクリーンルームは清浄度確保のための送風動力、温湿度制御のための温、冷熱源など環境維持のためのエネルギーをはじめ、各種プロセスに使用される加工用のエネルギーなど非常に大きなエネルギーを使用する、いわばエネルギー集約型とも言うべき側面を持っている。また、半導体や液晶パネルの集積度が上がり加工の微細化が進むに連れ装置は高精度化、大型化し、製造装置が必要とする環境条件もより高精度に、また高精度の環境維持が必要とされる装置の範囲はより広範囲になりつつあり、エネルギーの使用量は拡大の一途をたどっている。