パワーコンポーネント - 大形液晶製造装置用大電流可変真空コンデンサ（VC）VP200

摘要

液晶市場では，中国·韓国メーカが投資計画を相次ぎ発表している。今年は，第10世代（パネル寸法：2880×3130mm）以上の大形液晶製造工場への投資計画があり，40kW以上の大容量高周波電源が求められている。VCにも大電流化·高耐電圧化の要求があり，今回，対応製品として大電流可変VC VP200 を開発した。