モスキート法を用いた端面研磨フリー円形GI型ポリマー光導波路の作製

摘要

光配線によるチップ間伝送を可能とする光インターコネクト技術が注目されており，オンボードの光信号伝送路としてマルチモードポリマー導波路に期待が寄せられている．近年，我々が考案したモスキート法は，他の能動·受動素子との結合効率に優れるGI型円形コアポリマー光導波路の作製を可能にする．このGI型円形コアポリマー光導波路を他の素子と結合するためには，導波路端面平滑化のための加工処理，主に端面研磨行程が不可欠であった．本報告では，この端面処理のための余剰加工工程をなくし，プリント基板へ直接実装を可能とする新たな作製法を検討したので報告する．導波路形成後の切断と研磨処理を行わず，露光により作製した端面は，研磨時と同程度の端面精度となり，その結果，低い挿入損失（光導波路長5cm 波長 850 nm で0.79dB）が観測された．