遺伝的アルゴリズムを用いた，パラメータ抽出におけるグルーピング－BSIM3v3のモデルパラメータ抽出

摘要

従来，モデリングパラメータの抽出において，多数存在するパラメータのうち物理的に関連するパラメータ同士をグルーピングし，グループ毎にパラメータ値を決める手法が用いられてきた．しかし，この手法では広範囲の探索ができないた．め，十分な最適化ができない場合が多い．本研究では，従来よりも広範囲の探索ができる遺伝的アルゴリズムを使用した後に非線形最小2乗法に移行する抽出法を用いた，互いに相関関係が小さいパラメータでのグルーピングを提案する．このグルーピングと抽出法によりBSIM3v3のモデルパラメータの抽出に成功した．