磁窟ブリッジを用いた非接触餌A電流センサの開発

摘要

「測ること」は科学技術の発展と実用化に欠かすことが出来ない．益々高度化する昨今の科学技術では，現象をより詳しく正確に把握することが必須であり，それ相応の高性能な計測技術とセンサが求められている．電流は基本的物理量の一つで，多くの分野で電流の計測が重要になることは多い．例えば，ナノテクノロジー分野で利用されているイオンビームの定量化や安定化．あるいは，放射光施設の加速器や蓄積リングの電子ビームの制御なとは，高性能な電流計測なくしては実現できない．この様なイオンビームや電子ビームの討測では，非接触であること，高感度であること，ビームに干渉しないこと，などがセンサに求められる必要条件である．また，実用的にはセンサの小型化や省電力化も重要である．放射光施設の加速器兼蓄積リングの場合の一例では，最大電流300mA，通常運転時100mA，分解能5LIA以下が求められている（1）．また，イオンビームによる超平滑研磨加工装置などの場合は，最大電流1mA程度，分解能1ドA以下が求められている（2これらの値はこれで満足するものではなく，将来はより高度な要求が生じることは容易に予測できる．この様な電流センサの需要は今後益々高まると思われるが，まだ，これらの要求を充分に満たす性能のセンサを市場で見出すことが出来ない．