X繚式オンライン厚み·膜厚計測装置NSW－X

摘要

X線式厚み計測装置は，光学フィルムおよび電子材料等の厚み約1～1,000μmのフィルムを対象としており，放射線障害防止法の通用を受けない軟X線を使用し　 免許も不要で管理面および安全性からβ線式厚み計の更新にも適している。 赤外線では計測できなかった色付コーティング材料もX線を2台使用し，サブミクロンの高精度な膜厚計測が可能。