プラズマCVDプロセスにおける微粒子の挙動と微粒子汚染制御手法

摘要

近年，プラズマプロセッシング技術は，多種のプラズマの開発や発生技術の進歩に伴い，半導体製造におけるエッチングや薄膜堆積，素材表面の改質·コーティング，さらには加熱，焼却，ガスの生成と分解，浄化·殺菌，元素分析など多岐にわたって利用されており，産業界での重要性がますます高まっている。 特に，われわれが日常的に使用するデジタル家電に必ず組み込まれているLSIはプラズマ技術の産物といえる。