Анализ процесса ионного перемешивания при легировании внешней поверхности трубок из циркония под воздействием радиального пучка ионов аргона

摘要

Проанализирован процесс легирования циркониевой подложки за счет ионного перемешивания с примесными атомами (Fе, Аl), внедренными в подложку при бомбардировке напыленной _Fе(Аl) пленки пучком ионов Аr~+ с широким энергетическим спектром (0,5-8,0 кэВ) дозами ~10~(18)-10~(19) см~(-2). Обнаружена неоднородность дозовой зависимости изменения шероховатости R_a поверхности легированной подложки, которая при дозах облучения ~10~(18) см~(-2) резко снижается с 1,75 до 0,63 мкм, а затем возрастает до 0,91 мкм при дозе облучения ~10~(19)см~(-2).