Напылеиие тонких пленок на диэлектрические подложки с использованием имиульсиой плазмы

摘要

Предложена методика нанесения оптических металлических пленок на поверхность диэлектрических подложек (стекол) с использованием импульсной плазмы на установке типа Плазменный фокус, не приводящая к заметной деструкции поверхности подложки. Получены оптически тонкие композитные пленки на основе Ti, проведен их структурный и рентгенофазовый анализ, измерены оптические характеристики.