単結晶AIN膜の新成長技術を開発住友金属鉱山と東北大多元研共同

摘要

住友金属鉱山は、東北大学多元物質科学研究所との共同研究によって、窒化サファイア基板上に単結晶窒化アルミニウム（AIN）膜を作製する技術を開発した。開発した単結晶成長法は、新たに開発したGa－Alフラックスを用いる液相成長法で、従来法のように高温、高圧を必要とせず、常圧で低い成長温度で高品質な結晶の高速成長を可能としている。