クローズアップ－最近の溶射技術の適用：低環境負荷へのプラズマ溶射システムからのアプローチ

摘要

いま要求されている成膜技術は要求特性を満足することはもちろんのこと，省エネで環境に優しい技術である。 プラズマ溶射技術も同様で，とくに装置には効率の良い歩留で，より皮膜の緻密化を可能にする装置が求められている。 当社ではこれらの要求を満足させるプラズマ溶射装置，「TRIPLEX-System」を開発し，ここでガンの構造·装置の構成·システムの特徴を紹介するとともに，低環境負荷に対するプラズマ溶射システムからの提案について報告する。