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次世代超音波洗浄機「QUAVA Spot」:枚葉式洗浄に最適な超音波洗浄機

机译:下一代超声波清洗机“ QUAVA Spot”:超声波清洗机非常适合单晶圆清洗

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摘要

当社は枚葉式洗浄のツールとして、「スポットシャワー」や、「メガチューブ(導波路管型超音波振動子)」を用意しているが、それらの振動子と組み合わせることのできる高機能発振器「QUAVA Spot」を開発した。
机译:我们已经准备好“点阵雨”和“大型管(波导管型超声换能器)”作为单晶片清洁工具,但是可以将高性能振荡器与这些换能器组合使用。开发了“ QUAVA Spot”。

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