超精密加工：数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工

摘要

本稿では,プラズマCVMによる数値制御加工の原理と,本手法をATカット水晶ウエハにおける厚さムラの均一化に適用した結果について述べる。