数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

机译：数控等离子体CVM（化学汽化加工）对石英晶片的超高精度加工研究

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柴原正文; シバハラマサフミ;
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年度 2017
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